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簡介:該文的主要研究工作包括根據制燈工藝的要求該文研究了制燈過程中的關鍵工藝包括雜質控制和全新的工藝流程提出了諸多提高金鹵燈性能的方法在分析金屬鹵化物燈啟動過程的基礎上論文給出了金鹵燈啟動性能測試機理研制了測控設備開發(fā)了以PLC可編程控制器為中心的控制系統(tǒng)設計了與之配套的控制軟件提出了PLC與上位機PC進行通訊的方法在仔細分析和研究金鹵燈再啟動特點的基礎上該文提出了一套能對金鹵燈多種電參數進行測試的新方法和相應的實施電路在WINDOWS2000環(huán)境下運用VC語言開發(fā)了一套對金鹵燈啟動和再啟動過程進行測試和研究的計算機軟件實現(xiàn)了生產過程中對金鹵燈內在質量的監(jiān)控及其自動化利用該軟件系統(tǒng)觀察到了金鹵燈啟動時的異?,F(xiàn)象分析測試數據提出了解釋金鹵燈啟動過程的新觀點及解決其異常的方法文章最后還介紹了作者開發(fā)的金鹵燈啟動性能檢測的相關設備其中包括多工位金鹵燈啟動性能半自動機雙工位金鹵燈再啟動性能測試臺等對金鹵燈生產的機械化、自動化及產品質量的提高具有重要技術意義及工程應用價值
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簡介:在知識經濟的時代,工藝知識對現(xiàn)代企業(yè)新產品快速開發(fā)和適應市場競爭具有重要的影響,是企業(yè)的重要智力資源,企業(yè)迫切需要利用工藝知識提高工藝設計的質量和水平。計算機輔助工藝設計CAPP技術的應用提高了工藝設計的速度,然而由于缺少豐富的知識,現(xiàn)有的CAPP技術不能滿足企業(yè)對智能化的需求,主要原因是工藝知識獲取困難。本文提出工藝數據庫中工藝知識發(fā)現(xiàn)和重用技術,建立工藝數據庫中工藝知識發(fā)現(xiàn)技術體系,提出了基于PMML的工藝數據抽取方法、基于聚類的典型工藝實例挖掘技術、基于多準則群決策法的準典型工藝實例評估方法以及工藝知識重用技術,開發(fā)了工藝知識發(fā)現(xiàn)與重用原型系統(tǒng),并以某企業(yè)的工藝數據庫為數據源進行了應用驗證。論文的主要研究內容如下1分析了從數據庫中獲取工藝知識的重要意義,綜述了工藝知識獲取技術和數據庫中知識發(fā)現(xiàn)KDD技術的研究現(xiàn)狀,提出了應用KDD技術解決工藝知識獲取問題的需求。2分析了數據庫中工藝知識發(fā)現(xiàn)的工作流程,提出了工藝知識發(fā)現(xiàn)的三大關鍵技術工藝數據預處理技術、工藝數據挖掘技術和工藝知識評估技術。提出采用面向對象的工藝數據柔性編碼技術實現(xiàn)由文本數據向計算機識別數據格式的轉化。3構建了挖掘目標定義和建模方法,定義了描述挖掘目標模型的工藝數據抽取語言PDEML,實現(xiàn)工藝數據的自動抽取。4提出了基于聚類的典型工藝實例挖掘技術。以典型工藝路線挖掘為例,建立了工藝路線實例聚類的數學模型,通過距離計算確定工藝路線相似度,并通過算例驗證了工藝路線聚類方法。5研究了面向生產成本、生產效率、加工工藝性和產品質量等多目標的準典型工藝實例評估方法,提出了基于多準則群決策法的準典型工藝實例評估方法。6分析了基于工藝知識的工藝設計過程,提出了基于工藝知識檢索和實例修訂的工藝知識重用方法,其中提出了工藝知識層次智能檢索方法和基于典型實例的參數化、模塊化修訂的工藝設計技術。7設計并開發(fā)了工藝知識發(fā)現(xiàn)和重用原型系統(tǒng),以某企業(yè)的工藝數據庫為數據源,對文中的理論方法及系統(tǒng)進行了應用驗證。
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簡介:熱浸鍍是一種金屬表面處理的常用方法,能夠保護基體,有效抵抗大氣腐蝕。鋼基表面熱鍍55%AL434%ZN16%SI合金鍍層和傳統(tǒng)的鋼基表面熱鍍鋅鍍層相比,其耐蝕性能提高三倍以上。課題組開發(fā)出了“電解活化助鍍劑工藝熱鍍鋁鋅合金”這一創(chuàng)新熱鍍方法,研制了新的助鍍劑,成功的實現(xiàn)了溶劑法在鋼基表面熱鍍55%AL434%ZN16%SI合金鍍層的工業(yè)化生產。本文首先綜述了熱浸鍍工藝、熱浸鍍層種類及國內外熱浸鍍工藝的發(fā)展現(xiàn)狀,然后分析了傳統(tǒng)熱浸鍍爐的缺陷,提出了新型“非金屬項部電阻絲輻射加熱爐”,從理論和實踐兩方面研究了爐體結構及電阻頂部加熱爐電力元件的設計及選擇,提出了電阻加熱元件的型式與組合安裝方式及其它生產實踐中需注意的問題。由于溶劑法走線速度比氣體還原法慢得多,其鍍層厚度比氣體還原法薄。為解決這一問題,本文在分析提抽過程的基礎上,建立了提抽過程的數學模型,導出了提抽過程鍍層厚度與提抽速度、粘度、耐蝕合金組成之間的關系。理論研究結果表明,提高鍍層厚度只能從提高提抽速度和改善提抽口還原氣氛入手。通過中性鹽霧試驗、全浸試驗和電化學線性極化技術比較了采用“電解活化助鍍劑工藝熱鍍鋁鋅合金”新工藝生產的55%ALZN合金鍍層與傳統(tǒng)熱鍍鋅層的耐腐蝕性能,結果證明,不論在何種腐蝕條件下,55%ALZN合金鍍層的耐蝕性能均高于純鍍鋅層,與國外采用氣體還原法生產的同類產品耐蝕性能相當。
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簡介:國內圖書分類號X7031國際圖書分類號62835碩士學位論文工程碩士聚驅和三元驅采出的混合水處理工藝技術研究碩士研究生曹振錕導師樊慶鋅副教授副導師張昌興高工申請學位工程碩士學科、專業(yè)環(huán)境工程所在單位大慶油田工程有限公司答辯日期2008年6月授予學位單位哈爾濱工業(yè)大學哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文I摘要大慶油田自“九五”以來開展三元復合驅油技術研究,截止到“十五”末,三元復合驅油技術已經成功應用在采油生產中,成為大慶油田提高采收率的主要措施之一,是“十一五”期間大慶油田持續(xù)穩(wěn)定開發(fā)的關鍵技術。所謂三元復合驅就是聚丙烯酰胺、堿、表面活性劑復合驅油技術,它與聚合物驅油技術相比具有采收率高的優(yōu)勢。三元驅污水同聚驅污水相比具有PH值高,總礦化度高,油水乳化程度高和ZETA電位降低等特點,這對傳統(tǒng)處理聚驅污水的污水處理系統(tǒng)提出了新的挑戰(zhàn)。本文從工業(yè)化使用的角度,采用紫外分光光度法、濾膜分離法、激光粒度分析、靜止浮升法等方法研究了不同污水沉降過濾前后的水質變化,三元驅污水混入對聚驅污水處理工藝的影響,絮凝劑對混入三元驅污水的污水處理效果的影響,油水分離劑的篩選和復配,以及壓力聚結氣浮沉降分離除油設備對三元驅與聚驅混合采出水處理的效果等,并對通過研究提出的改進方案進行了可行性分析。聚北Ⅰ聯(lián)合站污水處理站是為處理聚驅采出水建設的,2004年后三元復合驅采出水占聚北Ⅰ聯(lián)合站總水量的55WT100WT。三元驅采出水混入后,聚北Ⅰ聯(lián)合站出水水質呈逐漸惡化的趨勢,沒達到大慶油田企業(yè)標準的注水水質指標,加入絮凝劑效果不明顯。研究發(fā)現(xiàn)出水質量下降的主要原因是污水處理站主要工藝處理設施沉降罐和過濾罐污染嚴重,處理效率低下。通過對北Ⅰ1、中110、中111和聚北Ⅰ污水進行了處理,并對比了處理前后水質的變化情況,研究發(fā)現(xiàn)中111三元復合驅采出水對聚北Ⅰ采出水處理影響程度較大,超出聚北Ⅰ污水處理設備能夠承受的水質負荷。通過三元復合驅采出水與聚驅采出水不同配比沉降模擬試驗發(fā)現(xiàn),三元復合驅采出水占的比例越大,污水越難處理。為了提高水處理效率,對化學藥劑的優(yōu)選和復配研究,以出水的油含量和懸浮固體含量為選擇指標,把SP1002作為最終的復配油水分離劑,加藥量為20MGL。為了進一步提高出水水質,研究了壓力聚結氣浮沉降分離器、雙層濾料過濾器對采出水處理效果的影響。通過對雙層濾料與石英砂濾料對比,研究雙層濾料過濾器對采出水處理方面的優(yōu)勢;研究了壓力聚結氣浮沉降分離器不同加氣點加氣后水質的變化情況,確定了最優(yōu)加氣點;并研究了壓力聚結氣浮沉降分離器、雙層濾料過濾器與投加油水分離劑的組合工藝對污水處理
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簡介:本文在閱讀國內外相關文獻的基礎上,對基于事物特性表SML的零件工藝建模與變型設計進行了研究,提出了加工特征的概念以及基于加工特征的零件族工藝主模型建立方法與技術,包括零件工藝路線模型、工序卡片模型以及事物特性表,探索基于SML和加工特征的零件族工藝變型設計技術,設計與開發(fā)了一個工藝變型設計原型系統(tǒng)。第一章介紹了零件工藝建模和工藝變型設計的背景,指出目前對零件的工藝變型研究較為薄弱,進而提出了本文的研究目標與范圍。通過廣泛閱讀相關文獻資料,詳細分析研究了國內外對工藝建模與工藝變型設計的最新研究狀況,闡述了本文研究的意義,進而提出了本文的研究內容與總體的研究思路。第二章研究了SML支持的工藝變型設計的總體技術。對基于SML的工藝變型設計的原理進行了描述,闡明基于SML的工藝建模與變型設計的過程,并指出了零件工藝變型設計通過加工特征的工藝變型實現(xiàn),最后對支持工藝變型的工藝主模型的建立方法與基于SML的工藝變型方法進行了介紹。第三章是關于基于SML的零件加工特征的工藝變型。分析了零件的加工特征的概念與作用,建立了加工特征SML與加工特征工藝元文檔,以及加工特征工藝變型的實現(xiàn)。第四章介紹了基于SML的工藝變型設計的零件工藝建模方法。介紹了基于零件加工特征的逆向裝配模型,建立了零件的參數化工藝路線與工藝卡片模型。并通過實例描述了零件工藝主模型的建立;在引入零件的加工特征工藝元文檔與零件的事物特性表之后,論述了零件的工藝變型的過程。第五章介紹了基于SML的零件工藝變型設計原型系統(tǒng)的設計方案和運行實例。第六章對論文的研究工作進行了總結和展望。
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簡介:本論文以松木家具生產工藝流程為主線主要研究了包括松木家具生產備料工藝及其質量控制、松木家具機械加工工藝、松木白坯家具組裝工藝、松木家具涂裝工藝、松木家具包裝工藝、松木家具生產工藝技術管理等松木家具生產工藝技術重點論述了松木家具生產備料工藝及其質量控制和松木家具涂裝工藝。研究結果表明松木家具的備料工藝應該以提高松木木材利用率為原則其質量控制手段主要包括松木含水率的控制、松木天然缺陷的處理、松木三切面的合理應用、合理確定加工余量以及對松木集成材的質量控制等。松木零部件的機械加工工藝應該以提高生產效率為原則根據松木的材性特征和松木零部件不同的形態(tài)和質量要求選擇相應的生產設備和加工方法。在松木白坯家具組裝工藝中部件應根據其零件之間的接合結構特點進行組裝結構形式不同其組裝方法也不同。整體組裝一般采用平行組裝方法即先分別將互不相連而較復雜的部件進行組裝而后裝上其他零部件。在松木家具涂裝工藝中采用底漆涂蟲膠漆、面漆涂硝基漆和底漆涂聚氨酯涂料、面漆涂硝基漆兩種工藝比較合適前者可以獲得清晰的紋理和艷麗而富有立體感的色彩后者可以改善松木家具表面質量。松木家具常見涂裝質量缺陷應該從松木材性特征對涂料的適應性、涂料成份、涂裝環(huán)境對松木基材的影響等方面進行預防。在松木家具包裝工藝中可拆裝產品采用散件包裝方式整裝產品采用整體包裝方式。前者首先用襯墊物保護松木零部件接觸面接著進行防潮、防震包裝最后進行箱體外包裝。后者則只要進行防潮、防震以及箱體外包裝即可。松木家具生產技術管理是提高生產效率、降低生產成本的重要手段之一。松木家具零部件尺寸標準化可以縮短加工時間保證零部件的加工精度。松木家具生產加工工藝路線設計應該主要考慮到松木加工過程中吸濕返潮非??斓奶攸c一般將其生產加工周期控制在3天以內。
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簡介:針對目前我國球團礦膨潤土配加量過高的現(xiàn)狀,對膨潤土不同改性方法進行了系統(tǒng)研究,分別優(yōu)化出了它們各自最佳的生產工藝條件,并借助X射線分析儀、掃描電鏡等微觀工具分析了它們各自的改性機理。主要研究內容包括鈣基膨潤土焙燒活化改性、鈉化改性、酸活化改性、鋰化改性和有機改性。本文首次采用LIF進行了鋰化改性嘗試,并收到了良好的效果。為了檢驗不同改性土對球團質量的影響,在實驗室中Φ500150MM的造球盤上進行了造球實驗,并對球團礦的各項性能進行了檢驗。研究結果表明膨潤土有機改性和鋰化改性對于提高膨潤土的各項性能最為明顯,其次為懸浮液法鈉化改性、焙燒活化改性,擠壓鈉化改性和陳化鈉化改性的效果最差。在單獨使用有機粘結劑造球的過程中發(fā)現(xiàn),單獨使用有機粘結劑造球可以滿足生產要求,但成球的強度較差;另外,由于有機粘結劑的配加量較低,實際生產還存在混勻問題。使用改性膨潤土和有機粘結劑造球,并對混合料加以潤磨,能夠在獲得質量優(yōu)良的球團礦的同時,大幅度的降低膨潤土配加量,使膨潤土用量降低到百分之一以下,而且經濟上也更為合理。因此,有機粘結劑與改性膨潤土搭配使用是當前球團粘結劑的最佳選擇。
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簡介:以甘蔗廢蜜為原料制取高果糖漿,可以提高糖廠副產品的附加值。通過對甘蔗廢蜜制取高果糖漿的工藝技術預處理、酸解、分離、異構化、精制的工藝條件進行研究,為甘蔗廢蜜制取高果糖漿工業(yè)化生產提供了切實可行理論依據。本課題的主要研究內容和結果如下1、通過糖廠的分析方法對某亞硫酸法糖廠的廢蜜進行了主要成分分析,其中蔗糖分含量在33%35%,還原糖含量在15%16%,灰分含量在9%12%,膠體含量在9%11%。2、確定了廢蜜預處理工藝的最佳工藝條件廢蜜與蒸餾水的稀釋度為101WW,在用H2SO4將稀釋的溶液的PH值調到25左右,添加08%絮凝劑后,100G廢蜜處理出來的沉淀達到1887G,OD減少率9537%。3、利用酸水解廢蜜中的蔗糖分,增加廢蜜中果糖的含量。酸水解廢蜜的最佳工藝條件是反應溫度為80℃,反應溶液的PH值20,反應時間為40H,廢蜜水解率可達到9275%。4、化學方法分離果糖和葡萄糖的最佳工藝條件是果糖與CAOH2添加量的摩爾比為13,在05℃條件下反應3H,在反應液中添加2104%的聚丙烯酰胺絮凝劑,使得果糖轉化成果糖鈣沉淀出來,用30%H3PO4來洗滌沉淀,得到高果糖漿粗產品。5、對高果糖漿粗產品進行了活性炭脫色和強酸陽離子樹脂靜態(tài)脫鹽精制。活性炭脫色工藝條件是加入活性炭添加量3%WV、脫色溫度50℃、脫色時間40MIN。樹脂脫鹽的工藝條件是樹脂添加量6%WV,脫鹽溫度40℃,脫鹽時間2H。經過一系列提取和精制工藝后,果糖的得率達到6717%,果糖損失率為805%,最后經過減壓濃縮后得到高果糖漿產品果糖純度達到9256%。6、葡萄糖在堿性條件下通過水浴加熱能夠轉化成果糖,通過響應面表明,通過用化堿性異構化將葡萄糖轉化成果糖的最佳工藝組合是反應溫度75℃,反應時間30MIN,溶液的PH值在1150,葡萄糖異構化率達到2814%。7、本文對堿法異構反應表觀動力學進行考察,建立了表觀動力學模型,求得75℃時,速率常數K00574MIN1,該異構反應在75℃時的速率方程為VADCADT00574CA;求得堿法異構反應的表觀活化能5374KJMOL,指前因子K0240286104S1反應速度常數與溫度的關系式為K240286104E64611RT
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簡介:近年來不同類型的電子紙顯示器EPD不斷涌現(xiàn)該類器件具有許多優(yōu)點如超低功耗柔軟性以及在光照下出色的可讀性便攜性良好等。微膠囊電泳顯示技術由于具有制備技術相對簡單性能優(yōu)越的特點而成為一種應用前景十分看好的電子紙顯示器。本文主要研究目的是在充分研究微膠囊電泳顯示原理基礎上探索實驗屏制備的工藝技術從而制作出柔性的微膠囊電泳顯示屏并實現(xiàn)該顯示屏能在低壓下穩(wěn)定顯示。根據微膠囊電泳顯示的原理設計了實驗方案為了實現(xiàn)高效率的顯示并得到穩(wěn)定而均勻的驅動電壓重點解決了制備過程中的兩個關鍵步驟一是在襯底上形成一個均勻的電子墨水層二是使電子墨水層與帶有ITO電極的基底緊密接觸。實驗中配置了微膠囊電子墨水的溶液為了使該種電子墨水層均勻分布先后嘗試了絲網印刷和旋轉涂布法最終得出可使用旋涂法在適當的參數控制下形成均勻的電子墨水層通過實驗得出采用導電膠帶可使電子油墨層與帶有ITO電極襯底緊密接觸。根據上述實驗方法完成了玻璃基底以及柔性基底的微膠囊電泳顯示屏。實驗結果表明電子油墨層能夠均勻而且牢固地貼附在帶有ITO電極的基底上。并且電子油墨層可與覆蓋的帶有ITO電極的基板形成良好的接觸。顯示屏測試結果顯示該顯示屏能在低壓下實現(xiàn)穩(wěn)定的顯示柔性顯示屏的驅動電壓為816V。
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簡介:由于集成電路中的器件參數會隨著制造工藝和環(huán)境溫度變化這就使得電路的仿真結果同測試結果不可避免的存在一定的偏差。可以在設計初期階段考慮溫度變化、工藝偏差對電路的性能產生的影響增加相應的補償機制使得電路在各種環(huán)境下都可以保持穩(wěn)定的性能。本文首先分析溫度和工藝偏差對電路造成的影響然后在查閱大量溫度工藝補償技術相關文獻的基礎上總結各種典型的溫度和工藝補償技術并將其分為兩大類具有通用性的溫度工藝補償技術和針對具體應用的具有溫度工藝補償的功能電路。然后分別對這兩類進行研究和分析在研究的過程中得到了一些實用的新型電路。對第一類即通用性技術主要研究了溫度傳感器和工藝監(jiān)測器這兩個模塊并且分別設計了具有數字輸出的對應模塊尤其是設計并分析了一個新穎的工藝監(jiān)測器可以得到與工藝相對應的數字輸出。對第二類即具體應用性技術以基于環(huán)路振蕩器的窗口式模數轉換器和混合式數字脈寬調制器這兩個DCDC電源管理芯片中的關鍵模擬模塊為例進行了詳細的溫度和工藝補償的研究。創(chuàng)新性提出了一種對環(huán)振型ADC進行溫度補償的新型技術。該技術采用一種基于固定數的計數算法以及CTAT電流偏置技術來補償溫度對輸出的影響不需要任何額外的校準機制。模擬結果證明通過采用這種技術在考慮了0℃到100℃的溫度變化的條件下環(huán)振型模數轉換器的分辨率可以達到2MVLSB輸入電壓的范圍為120MV采樣頻率為100KHZ。創(chuàng)新性提出了一種新型的混合式數字脈寬調制器。該脈寬調制器基于混合環(huán)路振蕩器計數器的結構。與已有的延遲線計數器結構相比由于該數字脈寬調制器采用了溫度工藝補償技術和一種新型的數字控制器使其不但可為DCDC變換器提供一個不隨溫度工藝角變化的時鐘而且可以工作在更高的時鐘頻率適用于高頻應用場合。仿真結果表明該混合式數字脈寬調制器工作的時鐘頻率可達到1577MHZ并且在0℃到100℃的溫度范圍內及所有工藝角下的最大偏移只有±57%。
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簡介:數十年來,芯片封裝技術一直追隨著IC的發(fā)展而發(fā)展,一代IC就有相應一代的封裝技術相配合。隨著集成電路向小型化、高密度化發(fā)展。新的封裝技術也層出不窮。從TO→DIP→LCC→QFP→BGA→CSP。CBGA封裝已成為解決高密度、高可靠封裝的重要手段之一。目前我國的CBGA封裝技術還處在起步階段,成為制約集成電路發(fā)展的瓶頸。本文從集成電路的封裝相關技術入手,介紹了封裝的產生、地位和作用,對當前的封裝技術的特點和發(fā)展趨勢進行了分析,闡述了BGA各種封裝技術的特點,對CBGA的封裝工藝流程做了詳細的闡述和分析。通過對各種焊膏材料的性能進行分析,選取了合適的焊膏及焊球材料,并進行了兩種植球工藝實驗(焊膏、助焊劑)及回流焊實驗。利用正交實驗法明確了影響互連可靠性的主導因素,確定了63SN37PB回流焊溫度曲線?;亓骱负蟮腃BGA樣品有CBGA132、CBGA208、CBGA256三種。并對實驗樣品進行了共面性、剪切力、拉脫力、斷面等可靠性分析。樣品的共面性為00608MM、00568MM、00776MM;焊球的剪切力滿足指標大于6N的要求,此外根據CPK的統(tǒng)計表明,CPK為14352≥133回流焊接的質量受控;焊球的拉脫力滿足指標大于7N的要求,此外根據CPK的統(tǒng)計表明,CPK為1758≥133;剪切后焊球斷面進行了SEM分析,確定了其斷面成分。
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簡介:鋁鎵氮(ALGAN)材料是GAN材料的三元合金,它屬于寬禁帶直接帶隙半導體,物理、化學性質穩(wěn)定,其禁帶寬度隨材料中AL組分由0到1的變化在34~62EV之間連續(xù)變化,對應可吸收光的長波限在200~365NM之間變化。其中240~280NM波段是日光盲區(qū),因此ALGAN是制作日光盲(日盲)紫外探測器的理想材料,可廣泛應用于導彈尾焰探測、火災監(jiān)測等領域。一般探測器的研究包括以下幾個方面器件結構設計、外延材料生長、工藝技術研究、器件制作及測試。本文的重點研究內容為高AL組分N型ALGAN(NALGAN)材料MOCVD生長的研究、高AL組分NALGAN歐姆接觸技術的研究,另外還對制作出的320256元ALGAN日盲PIN型焦平面陣列(FPA)探測器樣品進行了性能測試與分析。文章首先研究高AL組分NALGAN材料MOCVD生長。主要通過對高溫ALN和ALXGA1XNALN超晶格緩沖層的研究,優(yōu)化NALGAN材料的生長,研究生長出鋁組分為06的NALGAN材料,得到它的N型載流子濃度為691018CM3、室溫載流子遷移率為490CM2VS,滿足器件制作要求。其次,利用圓形傳輸線模型(CTLM)進行了大量NAL06GA04N歐姆接觸實驗研究,歐姆接觸金屬方案為TI20NMAL200NM。重點研究快速熱退火處理對TIALNAL06GA04N歐姆接觸的影響,并對退火工藝條件進行了優(yōu)化。在制作歐姆接觸金屬薄膜之前對樣品進行表面預處理,處理條件如下使用丙酮、酒精去油污各清洗5分鐘,用去離子水洗凈,再放入王水中煮沸20分鐘去除表面活性氧化物;金屬層制作完成后,對樣品進行一系列快速熱退火處理實驗,結果得到TIALNAL06GA04N歐姆接觸的最優(yōu)退火條件為在氮氣(N2)氣氛下、670℃、120秒的快速熱退火處理,得到此時比接觸電阻率為295104ΩCM2。最后對制作的探測器樣品進行電學、光譜響應及成像測試,測試結果如下器件的光譜響應范圍為250~280NM,實現(xiàn)了日盲區(qū)探測;在2伏反向偏壓工作狀態(tài)下,探測器在265NM波段附近達到峰值響應,響應度為013AW量子效率為60%在3伏反向偏壓工作狀態(tài)下,單元器件暗電流密度為7NACM2;陣列峰值探測率D為3591013CMHZ12W;成功對探測器進行了成像演示。
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