1、本文所研究光電位置敏感器件(PSD)是一種可直接對(duì)其光敏面上的光斑進(jìn)行檢測(cè)的光電器件，基于PSD可以構(gòu)成多種非接觸式的高精度動(dòng)態(tài)位移檢測(cè)儀器。在PSD器件使用中的一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題是如何克服器件本身的非線性，以提高檢測(cè)的精度和可靠性。提出一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的PSD非線性補(bǔ)償方法，利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)具有逼近任意非線性函數(shù)的特點(diǎn)，通過(guò)訓(xùn)練使神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建立在PSD輸出與其理想值之間的非線性映射關(guān)系，實(shí)現(xiàn)PSD非線性補(bǔ)償。故在不增加成本，不改變測(cè)量設(shè)備復(fù)雜度的

2、情況下，擴(kuò)大了測(cè)量范圍，提高了B區(qū)的測(cè)量準(zhǔn)確度及數(shù)據(jù)的置信度。 論文主要介紹了PSD工作原理、結(jié)構(gòu)和性能分析：提出了消除背景光對(duì)PSD干擾措施；著重討論了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)BP算法數(shù)學(xué)模型；設(shè)計(jì)了二維調(diào)整平臺(tái)；并建立了自準(zhǔn)直儀的光學(xué)系統(tǒng)以及闡述了直線度評(píng)定方法。 使用兩個(gè)隱層結(jié)構(gòu)對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練，其結(jié)果為：兩隱層神經(jīng)元數(shù)分別為39和33；網(wǎng)絡(luò)的第一，第二隱層以及輸出層采用的激勵(lì)函數(shù)分別為tansig、tansig、purelin