1、二維微光開關已被廣泛的應用于當今的光通訊領域，然而受微機電系統(tǒng)中的平面微加工技術的工藝限制，使得目前的二維微光開關僅能在二維平面上傳送信號?！　”疚牡难芯渴且袁F(xiàn)有的二維微光開關架構、基本原理及其信號傳送模式為基礎，加上立體結構的設計思想，采用雙層硅基底，并配合表面微加工工藝制造技術，設計出一種具有雙自由度的三維微光開關。將信號的傳送功能擴展到三維空間，使其具有垂直及水平方向傳送信號的功能，增加了輸入與輸出光纖之間信號傳送選擇的可能性。

2、　　作者著重參與了驅動器的設計。驅動器包括滑軌和驅動源。采用凸邊滑軌，使其能具有單一直線性的滑動自由度。驅動源由梳狀致動器和沖擊臂構成，加電后梳狀致動器產(chǎn)生高頻震蕩，帶動沖擊臂，驅動支撐梁沿單一方向行進。作者對梳狀致動器的尺寸進行了設計和計算，并通過MEMCAD軟件對設計值進行了模擬分析，選擇的模擬方式是動力分析，模擬材料是多晶硅，犧牲層材料是硅磷玻璃，分別模擬了受力情況和位移情況，根據(jù)模擬結果，得知現(xiàn)有梳狀致動器的設計不會受到應力損