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簡介：三維多芯片組件技術是現(xiàn)代微組裝技術發(fā)展的重要方向，是新世紀微電子技術領域的一項關鍵技術，近年來得到了迅速的發(fā)展。高度的限制及疊層技術構形增加的復雜性對在疊層芯片應用中的絲悍技術提出了一些特殊的挑戰(zhàn)，需要降低較低層的引線鍵合環(huán)形高度，以避免不同的環(huán)形層之間的線短路。環(huán)形頂層也需要保持低位，以便消除在模塑化合物外部暴露出焊線的現(xiàn)象，低外形環(huán)形技術的要求也推動了反向球焊技術使用的不斷增長。本論文對三維多芯片組裝技術中的疊層芯片低線弧鍵合工藝技術及其應用進行了研究所進行的折疊式正向弧線法FWARDFOLDEDLOOP的研究除了能提供比傳統(tǒng)正向球焊工藝具有更低弧線高度低于75ΜM和較少的頸部損壞之外，還降低了對芯片焊盤的損傷，具有更高的產(chǎn)量和更好的模塑去除性能。研究了FFL的正向鍵合和SSB的反向鍵合方法來實現(xiàn)低線弧，滿足了底線弧和可靠性的要求，F(xiàn)FL線弧往往更適合大批量的生產(chǎn)模式，是控制第一焊點高度和形狀的首選低線弧模式。折疊式正向環(huán)形法FWARDFOLDEDLOOP的工藝研究經(jīng)過金線鍵合和塑封工藝的評估，M線弧已經(jīng)被驗證為疊層芯片中降低長線弧下塌而造成短路的問題的解決方案，在大批量生產(chǎn)中能保持較高的良率。上述工藝的優(yōu)化在具體產(chǎn)品的實際應用中得到了驗證，為采用折疊式正向弧線法FWARDFOLDEDLOOP疊層芯片封裝的金線鍵合提供了一種經(jīng)優(yōu)化了的超低弧線高度的正向球焊工藝技術。

簡介：鋁電解過程中的節(jié)能、降耗、減排，一直是國內(nèi)外鋁電解生產(chǎn)管理和科技工作者的關注重點與研究熱點。作者通過相關的鋁電解理論和多年實踐經(jīng)驗的積累，以300KA鋁電解槽的生產(chǎn)技術管理為研究對象，從眾多角度對鋁電解槽電解生產(chǎn)過程的相關工藝技術條件優(yōu)化的研究與新控制技術的開發(fā)，獲得了如下研究成果。1、結合本公司300KA預焙鋁電解槽的實際生產(chǎn)狀況分析，認為先天的設計中存在磁場與生產(chǎn)技術不匹配的缺陷，因此必須對工藝技術條件進行優(yōu)化，以彌補先天設計的不足。作者通過從電解質(zhì)溫度、分子比、氧化鋁濃度、陽極效應系數(shù)、極距、槽電壓、電解質(zhì)水平以及鋁水平等方面對電解工藝技術條件進行了全面分析，并通過比較的方法對工藝技術條件進行優(yōu)化試驗，從統(tǒng)計結果顯示，優(yōu)化后電流效率由原來的925％提高到9272％。2、通過開展技術條件優(yōu)化試驗后，電流效率等相關的經(jīng)濟指標參數(shù)雖然有了一定的提高，但與世界先進技術相比還存在很大的差距，因此需尋找一套在線的控制技術對電解生產(chǎn)進行適時監(jiān)控，減小人為因素對電解槽的干擾造成生產(chǎn)的波動，進一步將電流效率提高到了一個新的水平。通過開展試驗，采用“雙平衡”控制技術后，從生產(chǎn)統(tǒng)計結果表明，電解槽系列電流效率達到948％，比之前提高了208％。3、通過開展本課題的研究，不但將電流效率提高到了一個國內(nèi)領先的水平，且在節(jié)能降耗與保護環(huán)境上有了明顯收益。效應系數(shù)由原來的025降低到005以下；同時采用“雙平衡”控制技術后，清潔生產(chǎn)，槽況穩(wěn)定，使爐膛規(guī)整，爐幫堅實，將槽齡提高到1800D以上，遠遠高于設計槽齡1500D，為企業(yè)降低了投資成本。

簡介：點擊查看更多SiGe HCMOS IC關鍵工藝技術研究.pdf精彩內(nèi)容。

簡介：歷史上各民族、各地區(qū)的室內(nèi)傳統(tǒng)工藝，都體現(xiàn)了人們最樸素的物質(zhì)要求。古代工匠在生產(chǎn)力不發(fā)達的條件下將大自然材料的自然屬性發(fā)揮到極致，創(chuàng)造了許多具有原生性特征的室內(nèi)工藝。本文基于當今社會市場化、科技化、多元化的特點，探索如何以新的手段來保留室內(nèi)傳統(tǒng)工藝中原生性的特點。本文首先對室內(nèi)傳統(tǒng)工藝進行分析，挖掘出室內(nèi)傳統(tǒng)工藝中六個最基本的原生性特點，從而進一步分析了新的科學技術的特點及其對室內(nèi)傳統(tǒng)工藝的影響。從對傳統(tǒng)材料的原生性，傳統(tǒng)工藝的原生性以及傳統(tǒng)設計思想的原生性三個角度出發(fā)，探討了在新的科學技術條件下來保留室內(nèi)傳統(tǒng)工藝中原生性特點的辦法。并結合實際案例進一步探索了如何在保留室內(nèi)傳統(tǒng)工藝中原生性特點將室內(nèi)傳統(tǒng)工藝中的原生性特點加以提煉和創(chuàng)新。

簡介：大連理工大學碩士學位論文N甲基嗎啉工藝技術研究姓名樸玄浩申請學位級別碩士專業(yè)化學工程指導教師于才淵20081201N一甲基嗎啉L藝技術研究RESEARCHONNMETHYLMORPHOLINETECHNOLOGYABSTRACTTHEAIMOFTHISSTUDYISTOSUPPLYRELIABLEDATAFORCONSTRUCTIONANDPRODUCTIONOFNMETHYLMORPHOLINEINDUSTRIALISATIONSET，WHICHCOMESFROMTHECONSTRUCTIONOFNMETHYLMORPHOLINEEXPERIMENTATIONANDMESOTESTDEVICE，CARRYINGONANINVESTIGMIONINCATALYSTANDFINDINGOUTTHEOPTIMALPROCESSCONDITIONSJILINPETROCHEMICALCOMPANYWHOOWNSHIGHCLASSMORPHOLINEINDUSTRIALPRODUCTIONTECHNOLOGYANDMONOPOLIZESPRODUCTIONTECHNOLOGYOFCATALYSTISONEOFEXPLOITATION、RESEARCHANDPRODUCTIONMORPHOLINEUNITES，DEPENDINGONADVANTAGEOFRAWMATERIALTOEXPLOITPROCESSROUTESOFDIETHYENEGLYCOLMETHANOLAMMONIAISTOPRODUCENMETHYLMORPHOLINEITSPROCESSANDCATALYSTSYSTEMAREBASICALLYTHESAMEASMORPHOLINES’，THERISKOFEXPLOITUREISSILLALLSTUDIESHAVESHOWNTHATWEAFFIRILLCATALYSTANDRAWMATERIALROUTESAFTERTHEEXPERIMENTATIONOFNMETHYLMORPHOLINE，CONSTRUCT300VANMETHYLMORPHOLINEMESOTESTDEVICEANDEXPLOITPROCESSBYADOPTINGAROUTEOFDIETHYENEGLYCOLMETHANOLAMMONIAANDVAPORPHASESTATICBEDPRODUCINGMORPHOLINESIMULTANEOUSLYWEALSOAFFIRMTHEOPTIMALCONDITIONSFOREVERYPROCESSSTUDYCONCLUMONSINDICATETHATTHECOMPOUNDPROCESSTECHNOLOGYISREASONABLEANDFEASIBLE，ANDTHATTHEPROCESSCONDITIONSOFMESOTESTISSOSTEADYTHATINDUSTRIALISATIONISPRONETOCOMETRUEKEYWORDSNMETHYLMORPHOIINE；CATALYZER；TECHNICCONDITIONS

簡介：隨著油田開發(fā)的進一步深入，細分注水單元，補充地層能量，力爭各層位均發(fā)揮出最佳的開發(fā)水平是保證油田長期穩(wěn)產(chǎn)的重要因素。而靖安油田三疊系長6油藏的特點是各層啟動壓力梯度差異大，剖面非均質(zhì)性嚴重，多段動用注水井剖面矛盾較大，部分油層段得不到能量補充，注水效果差，必須采取有效的分層注水措施。在分析靖安油田注水開發(fā)存在主要問題的基礎上，結合現(xiàn)有的注水工藝技術，研究了分層注水工藝技術，進行了分層注水管柱設計，探討了投撈測試工藝技術。在L133區(qū)塊、LHM區(qū)塊、WLM區(qū)塊都取得了明顯的效果，地層能量穩(wěn)步回升，一年內(nèi)地層壓力上升1MPA以上；吸水剖面得到了改善，水驅(qū)動用程度提高了近40％；油井見效快，平均單井增油059噸。

簡介：湖南農(nóng)業(yè)大學碩士學位論文普洱茶飲料加工工藝技術研究姓名陳金華申請學位級別碩士專業(yè)茶學指導教師黃建安劉仲華20040601結果表明，溫度越高，茶湯色澤越深，透光率越低；時間越長，色澤越深，透光率越低，并且在貯藏期間，24H后觀察到肉眼可見沉淀。最佳滅菌方法是112℃滅菌M2升溫7MIN，恒溫12MIN，降溫7MIN；115℃滅菌M3升溫8MIN，恒溫10MIN，降溫8M血。【關鍵詞】普洱茶；飲料；陶瓷膜徽濾；提取；澄清；配制；滅菌

簡介：該論文針對發(fā)酵干香腸的產(chǎn)品工藝和包裝技術展開了兩個方面內(nèi)容的研究1、選擇適合于中國消費者口味的低酸發(fā)酵干香腸產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝試制一種發(fā)酵干香腸產(chǎn)品并跟蹤檢測了產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中的PH值、水分含量、水分活度、脂肪氧化的酸價、過氧化物值、蛋白水解指數(shù)等理化和微生物特性的變化并進行了膠原蛋白在發(fā)酵干香腸中應用研究的初步探索結果表明1添加發(fā)酵劑的發(fā)酵組和未添加發(fā)酵劑的對照組在生產(chǎn)過程中的水分含量、酸價、過氧化物值和蛋白水解指數(shù)的變化沒有顯著差異而兩組產(chǎn)品的PH、水分活度和微生物生長情況之間存在著顯著差異所以在這種發(fā)酵干香腸中水分含量、脂肪氧化和蛋白水解與生產(chǎn)工藝有關而與發(fā)酵菌種的無關2添加膠原蛋白的產(chǎn)品能夠一定程度加快產(chǎn)品的失水但是對于該種快速發(fā)酵干香腸產(chǎn)品一定的干燥時間是產(chǎn)品成熟和良好的風味保障干燥速度不宜過快所以膠原蛋白的添加對于該實驗中試制的發(fā)酵干香腸產(chǎn)品質(zhì)量沒有幫助2、針對自行試制的發(fā)酵干香腸產(chǎn)品選擇了六種軟塑包裝材料、三種不同的包裝方式和兩種氣體組成的氣調(diào)包裝研究了不同的包裝材料和包裝方式對貯藏期間的產(chǎn)品質(zhì)量的影響同時研究了包裝材料和包裝方式對產(chǎn)品在貯藏期間的質(zhì)量變化的交互影響研究結果表明1由于透氧率在500CM24HM1MPA以上的包裝材料包裝的產(chǎn)品表面有大量的霉菌生長和繁殖而透氧率在50CM24HM1MPA以下低的包裝材料包裝的產(chǎn)品則無此現(xiàn)象所以只有透氧率在50CM24HM1MPA以下的包裝材料才適合做發(fā)酵干香腸產(chǎn)品的包裝而且產(chǎn)品在貯藏過程中失重與包裝材料的透濕性有關而與包裝方式和包裝材料的透氧率無關2真空包裝有利于產(chǎn)品保持良好的組織狀態(tài)、發(fā)酵氣味和滋味但真空包裝的產(chǎn)品有明顯的析水、析油現(xiàn)象所以發(fā)酵干香腸不適合采用真空包裝3兩種氣體組成的氣調(diào)包裝之間對產(chǎn)品貯藏期間的質(zhì)量變化的影響無顯著性差異都能在一定程度上防止脂肪的氧化而且效果明顯好于普通包裝和真空包裝但感官評價和理化指標分析的結果表明低透氧率的包裝材料在采用氣調(diào)包裝后對產(chǎn)品在貯藏期間質(zhì)量的交互影響與普通包裝方式之間無顯著性差異所以發(fā)酵干香腸最合適和最經(jīng)濟的包裝方式是普通包裝

簡介：大連理工大學碩士學位論文工藝性能實時監(jiān)測與評估技術在大型壓縮機裝置上的應用研究姓名母艦申請學位級別碩士專業(yè)動力工程及設備指導教師王曉放20031001ABSTRACTTHESM行OFTURBINEGROUPOFDALIANUNIVERSITYOFTECHNOLOGYINSISTSONTHEPRINCIPLEWHICHCOMBINESTHEORYWITHPRACTICEANDFOCUSONSOLVINGTHEENGINEERINGPROBLEMTHEYHAVEBEENWORKINGONTHERESEARCHANDDEVELOPMENTOFTHECRITICALEQUIPMENTOFPETROCHEMICALINDUSTRYTURBINECOMPRESSOREMPHASIZINGPARTICULARLYONONLINEINSPECTIONANDEVALUATIONOFCOMPRESSORGROUPTHEONLINEINSPECTIONANDEVALUATIONSYSTEMSOI千WAREOFCENTRIFUGALCOMPRESSORRUNNINGPERFORMANCE’ISANEXAMPLEANDTHEPAPERISFROMITTHEADVANTAGEOFFORMERINSPECTIONANDEVALUATIONSYSTEMISINHERITEDANDALOTOFWORKISDONEINTHESOFTWAREGENERALIZATIONTHEPRECISIONISPROMOTEDBECAUSETHESYSTEMUSESLKEQUATIONANDMLEQUATIONTOANALYSISTHETHERMODYNAMICSPROPERTYOFMONOMERICGASANDMIXTUREGASAIMEDATPOLARITYANDNONPOLARITYMEDIARESPECDVEWEESTABLISHASIMULATIVECOMPRESSORCHARACTERISTICCURVELIBRARYBYMEANSOFMODULUSMATRIXFITTINGSEVERALIMPORTANTPARAMETERSSUCHASOUTPRESSURE，LEVITYEFFICIENCYANDSHARCONSUMEPOWERAREEALCNLATEDACCURATELYTOINDICATECOMPRESSORRUNNINGPERFORMANCEANDEXPECTATIONVALUEISGAINEDONTHEBASEOFSIMILARITYCONVERSIONPRINCIPLEEVALUATIONVALUEISGOTTENBYCOMPARISONANDREALTIMESHOWEDINGRAPLICSMODEANTISURGEISGIVENIILTERMOFDIFFERENTADJUSTMETHODFORSOLVINGDANGEROUSPOINTOFCOMPRESSOR‘RAPIDLYCREATESYSTEMOFCOMPRESSORTECHNICALPROCESSDRAWING’ISFINISHEDTOMEETTHENEEDOFGENERALIZATIONNOWTHERESEARCHWORKSISFINISHEDANDRESULTSMEETTHENEEDOFDESIGNREQUIREMENTBASEDONTHELARGENUMBERSOFREALCASESCALCULATIONANDINSPECTIONITRECEIVEDTHEAUTHORIZATIONOFSHENYANGBLOWERWORKSANDISWAITINGFORTHELASTCHECKANDACCEPTKEYWORDSONLINEINSPECTION，REALAIRCHARACTERISTICCURVE，SIMILARITYCONVERSION，SURGE

簡介：現(xiàn)今數(shù)據(jù)儲存的方法種類繁多。就儲存容量、價格等方面考慮，磁帶儲存方式有著較高的性價比，在大型儲存器或是服務器方面有著大的需求。但隨著客戶對儲存容量和穩(wěn)定性的要求越來越高，對磁帶頭半成品性能要求也越來越高?，F(xiàn)有的加工工藝已不能滿足新產(chǎn)品質(zhì)量要求，出現(xiàn)了大量的電阻值MRR和支承面平面度干涉波紋圈數(shù)TBSBOW及支承面弧度頂點TBSAPEX壞品。急需找到有效的方法來改善加工工藝，提高磁帶頭半成品的合格率。本文針對以上壞品特征，經(jīng)工序研究與分析發(fā)現(xiàn)主要是因為磁帶頭半成品MODULE以下簡稱半成品本身在加工過程中研磨產(chǎn)生的應力導致其變形所致。主要通過研究控制半成品和研磨夾具粘接面表面的平面度和平行度來解決支承面弧度頂點壞品，通過選擇合適粘接介質(zhì)最終選定高溫蠟作為粘接介質(zhì)和對研磨夾具粘接面表面處理增加小墊塊、夾具粘接面加一臺階及減少半成品胚加工余量，在保證足夠粘接力情況下來改善加工過程中半成品的形變從而獲得好的電阻值和支承面平面度。

簡介：NTJDISSERTATIONSUBMITTEDFORTHEAPPLICATIONOFMASTER’SDEGREEOFENGINEERING●RESEARCHOFTHREEDIMENSIONALSTONECARVINGPRODUCTS口口MACHININGTECHNOLOGYBASEDONSTONECARVINGROBOTCANDIDATEZHANGSHANYONGSPECIALTYMECHANICALMANUFACTURINGANDAUTOMATIONSUPERVISORPROFWANGJINGKUNPROFZHANGJINSHENG一一SHANDONGUNIVERSITYMAY26TH，2012

簡介：內(nèi)燃機行業(yè)是我國機械工業(yè)中的一個十分重要的行業(yè)。內(nèi)燃機是汽車、農(nóng)業(yè)機械、工程機械、船舶、內(nèi)燃機車、地質(zhì)和石油鉆機、軍用、通用機械、移動和備用電站等裝備的主要配套動力。隨著科學技術的發(fā)展和人類環(huán)境保護意識的增強以及能源的的日趨緊張對內(nèi)燃機本身的可靠性、使用壽命要求越來越高對噪音和廢氣的排放提出了更加嚴格的限制對燃料的消耗和使用經(jīng)濟性也提出了更高的要求。隨著我國改革開放步伐的加快和加入WTO內(nèi)燃機行業(yè)將面臨更激烈的市場競爭也將迎來新的發(fā)展機遇。曲軸是內(nèi)燃機上的一個重要零件。曲軸的質(zhì)量優(yōu)劣直接影響著內(nèi)燃機的性能和壽命。曲軸的質(zhì)量與材質(zhì)、機械加工、熱處理和強化等都有著密切的關系。曲軸作為發(fā)動機的心臟正面臨著安全性和可靠性的嚴峻挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)工藝優(yōu)化的方向是向高效化、精密化、清潔化和強韌化發(fā)展。新工藝應用計算機技術和模擬技術來確定工藝規(guī)程、優(yōu)化工藝方案、預測加工過程中可能產(chǎn)生的缺陷及防止措施控制和保證加工件的質(zhì)量使工藝設計由經(jīng)驗判斷走向定量分析加工工藝由技藝發(fā)展成為工程科學。內(nèi)燃機廠家應根據(jù)企業(yè)實際狀況和發(fā)展需求來確定適合自身發(fā)展的最佳工藝方案和技術水平。本文通過對國內(nèi)外曲軸材質(zhì)、毛坯加工技術、機械加工技術、強化工藝技術的探討與研究以期得出適合我國中大功率內(nèi)燃機曲軸制造的最佳方案推動我國內(nèi)燃機行業(yè)的持續(xù)發(fā)展。課題通過對國內(nèi)外曲軸制造工藝技術及傳統(tǒng)工藝技術與新工藝技術進行的對比闡述了中大功率內(nèi)燃機曲軸制造工藝技術的發(fā)展趨勢。課題中的許多建議和改進已在濟南柴油機股份有限公司曲軸生產(chǎn)線中采納并使用形成了穩(wěn)定成熟的機械加工工藝流程很好的保證了曲軸的加工精度和產(chǎn)品質(zhì)量得到了用戶的極大好評。

簡介：快速成型技術RAPIDPROTOTYPING，簡稱RP，又稱快速原型制造技術，是基于離散堆積的成型思想，用積分法原理來制造三維實體的。RP技術突破了傳統(tǒng)加工中“減材料”的工藝方法；將計算機上建模的零件三維CAD模型沿高度方向按一定厚度分層切片，得到每層的截面信息；然后輸出到快速成型設備上逐層填充，再沿高度方向上粘結疊加，逐步成型三維實體。目前市場上FDM工藝的快速成型系統(tǒng)只能讀取STL格式文件，而STL格式文件是CAD模型的近似表達，即用一系列三角形平面片近似的表示CAD模型的數(shù)據(jù)文件，本身存在零件的幾何失真現(xiàn)象。基于此格式進行分層得到的二維層片是由直線段相連而成的多邊形輪廓，使得模型層片信息也存在幾何失真，從而導致快速成型件表面精度比較差；再有目前截面內(nèi)部填充均采用平行的直線段，對于薄壁類截面的填充，生成的填充路徑呈鋸齒形，還存在不連續(xù)和不均勻現(xiàn)象，使得成型件存在壁厚不均勻、物理性能差等問題。針對基于STL模型分層所產(chǎn)生幾何失真的問題，本課題提出直接對CAD模型進行分層，并通過AUTOCAD二次開發(fā)工具實現(xiàn)了在軟件中的直接分層，所得層片的二維輪廓為光滑曲線，從而保證成型件精度。針對均勻壁厚薄壁類零件截面內(nèi)部填充軌跡的問題，本課題提出在Z方向采用兩種軌跡混合填充的方法，即奇數(shù)層采用平行的直線段填充，偶數(shù)層采用輪廓軌跡偏置線填充；并通過AUTOCAD2002二次開發(fā)工具OBJECTARX2002在VISUALC60開發(fā)平臺上實現(xiàn)軟件的開發(fā)；運行編制好的軟件可在AUTOCAD2002中實現(xiàn)這兩種軌跡的模擬，并分別計算填充路徑的長度；通過顯示結果分析，這種方法不僅緩解了平行線填充帶來的一系列弊端，同時在很大程度上提高了快速成型效率。通過本課的研究，實現(xiàn)了在不增加成本條件下，提高成型效率、制件精度和完善成型件性能，從而為下一步擴展到快速成型設備提供可行性。

簡介：隨著科學技術的發(fā)展，對產(chǎn)品的小型化和精密化程度的要求越來越高。針對加工尺寸小、結構復雜，加工尺寸范圍廣等機械加工業(yè)的這種需求，作者研究開發(fā)電液束加工技術。本課題是研究利用電液束技術實現(xiàn)穩(wěn)定的最小去除單元加工，為以后利用電液束進行微細結構加工做準備。通過現(xiàn)有的試驗裝置進行電液束小孔加工研究，由最小孔徑和可控最小深度來實現(xiàn)最小去除單元。在試驗過程中，記錄并分析電液束加工小孔時各項工藝參數(shù)，包括直流高壓脈沖電源的電壓、占空比、頻率，電解液的壓力、流量，噴管的材料、幾何形狀、尺寸，還有靶距、陰極距、加工時間等對金屬去除過程有影響的各個工藝參數(shù)的變化范圍。經(jīng)過試驗得出電壓對電解作用的強弱起到關鍵作用；占空比對單位時間內(nèi)的去除量和加工效率有明顯作用，占空比越大單位時間內(nèi)去除量越大，加工越快；靶距在04～18MM范圍內(nèi)時，對所加工孔徑的影響很小，具有良好的成形精度。當靶距大于18MM時，對所加工孔徑和孔的成形精度有顯著的影響，孔的成形精度降低；加工時間的長，金屬去除量大，孔深加大。電解液的流速大小對加工孔徑的影響很小，但對加工孔深有影響；電解液的流場影響加工孔的成形精度。目前獲得的最小加工孔徑為0104MM。通過試驗現(xiàn)象對電液束加工機理進行了淺析，經(jīng)過試驗得出電流效率Η120％。為了更能詳細的描述金屬的去除量，引入了金屬去除強度S這個參數(shù)，通過試驗得到了其數(shù)學模型，對電液束技術應用于電解微細加工具有參考意義和實用價值。

簡介：IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展到今天的階段，材料分析技術已成為任何一個先進的IC代工廠中不可或缺的研究、分析工具。尤其是當制程逐步向深亞微米發(fā)展，沉積的薄膜越來越薄，影響器件性能的DEFECT越來越小時，對于分析工具解析度的要求也越來越高。SEM，TEM，F(xiàn)IB高解析度、高精確度的優(yōu)點，使得其在IC工藝監(jiān)控、失效分析等方面的應用愈發(fā)普遍和重要。近年來國內(nèi)外在半導體元器件失效分析領域采用了一些新的分析技術和手段，如光學顯微鏡，掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、聚焦式離子束顯微鏡、掃描式俄歇電子顯微鏡等，這些技術和手段的應用極大地推動了電子元器件失效分析技術的發(fā)展，使失效機理研究工作進一步深化。本文結合手機電源管理器芯片漏電失效的案例。就上述這些技術的發(fā)展、原理、特點和應用進行了綜述和評價。